量子通信的第一步,是做出单光子探测器。
没有探测器,光子来了你也看不见。
2005年春天,秦念来到半导体所。方明华的实验室在半导体所最旧的那栋楼里,墙上长着霉斑,窗户关不严,冬天冷得像冰窖。但就是在这个破旧的实验室里,方明华做了二十多年雪崩光电二极管,是国内这个领域绝对的权威。
秦念进去的时候,方明华正蹲在实验台前,手里拿着一个镊子,小心翼翼地夹着一个比米粒还小的芯片。
“方老师。”
方明华头都没抬。
“等会儿。这块芯片我焊了半个小时了。”
秦念就站在那里等。她看着方明华的手——那双手很稳,镊子尖精准地对准了芯片上的焊盘,电烙铁轻轻一点,焊锡熔化,形成一个完美的焊点。
五分钟后,方明华放下镊子,抬起头。
“秦总师,什么风把您吹来了?”
“我需要一种能探测单个光子的探测器。暗计数率低于100赫兹,探测效率高于20%。”
方明华听完,沉默了很久。
然后他笑了。不是高兴的笑,是苦笑。
“秦总师,您知道现在国际上最好的水平是多少吗?”
“知道。暗计数100赫兹,探测效率20%。普林斯顿大学做的。”
“那您知道我现在的水平是多少吗?”
“您说。”
方明华站起来,走到实验台前,拿起一块芯片。那块芯片只有两毫米见方,上面有肉眼几乎看不见的细微结构。
“暗计数1000赫兹,探测效率5%。差了一个数量级。”
他抬起头,看着秦念。
“秦总师,我跟您说实话。这个差距,不是一年两年能追上的。材料、工艺、设备,每一项都差。国内没有做这种器件的经验。我做了二十年雪崩二极管,最好的产品用在光纤通信上,探测普通光信号没问题。但单光子?那是另一个世界。”
秦念走到实验台前,看着那块比米粒还小的芯片。
她启动了【微观结构洞察】。
视野里,芯片的结构一层一层地展开。她看到了p型区、N型区、耗尽层——每一个掺杂浓度、每一个结深、每一条金属连线。
“方老师,您现在的结构是普通的雪崩二极管。单光子探测需要不同的结构。”
她在笔记本上画了一张图。
“分离吸收区与倍增区。吸收区用窄带隙材料——InGaAs,吸收光子产生电子-空穴对。倍增区用宽带隙材料——Inp,让电子发生雪崩倍增。两个区域分开,暗计数可以降下来。”
方明华盯着那张图,看了很久。
“分离吸收区与倍增区……这个结构,理论上可行。但工艺难度极大。两个区域之间的界面态会很多,电子在界面处被俘获,反而可能增加暗计数。”
“界面态的问题,可以用‘电荷层’解决。”
秦念在图上加了一层。
“在吸收区和倍增区之间,插入一层薄薄的电荷层。掺杂浓度精确控制,可以耗尽界面处的载流子,抑制暗计数。”
方明华的眼睛亮了。
他的手开始发抖——不是害怕,是兴奋。
“秦总师,这个思路,您是从哪里来的?”
秦念没有回答。
她不能说这是她在虚境实验室里推演了几百次的结果。
“方老师,您就说,能不能做?”
方明华深吸一口气。
“能。给我一年。”
方明华说的“一年”,是认真的。
他关了实验室里所有其他项目,把全部精力投入到单光子探测器的研发中。他亲自设计版图,亲自跑流片,亲自做测试。
第一次流片,用了三个月。
芯片回来的时候,方明华迫不及待地把它装到测试台上。探针卡精准地接触到芯片上的焊盘,示波器上跳出了信号。
但信号不对。
暗计数不是降了,是升了。1500赫兹。比老结构还高。
方明华的脸沉了下来。
“界面态。”他说,“分离区的界面态比预想的多了一个数量级。电子在界面处被俘获,然后释放,产生的噪声比雪崩信号还大。”
秦念接到电话的时候,正在西昌出差。
“方老师,不要急。界面态的问题,用‘电荷层’方案试试。”
“试过了。电荷层的掺杂浓度怎么都控不准。mocVd设备的均匀性不够。”
秦念沉默了几秒。
“我去协调。中科院半导体所有一台新的mocVd,均匀性比你们的好。我跟他们打个招呼,你去用。”
第二次流片,又用了三个月。
这一次,暗计数降到了800赫兹,但还是不够。探测效率只有8%,离20%的目标差得远。
方明华在电话里的声音很疲惫。
“秦总师,吸收区和倍增区的厚度比例不对。我们算了十几种组合,都不理想。”
“我来看看。”
秦念飞到北京,直接去了半导体所。
她站在测试台前,看着那些数据,启动了【微观结构洞察】。
视野穿过芯片的表面,进入内部。她看到了吸收区——InGaAs层的厚度是1.5微米。她看到了倍增区——Inp层的厚度是0.8微米。
“比例不对。”她说,“吸收区太薄了。光子还没被完全吸收,就穿过去了。探测效率当然低。”
“加厚吸收区?”
“对。加到2.5微米。但加厚之后,载流子输运时间变长,响应速度会下降。所以倍增区也要加厚,保持电场强度。”
方明华在笔记本上飞快地算着。
“吸收区2.5微米,倍增区1.2微米……这个比例,理论上探测效率能到25%。”
“那就做。”
第三次流片。
方明华站在测试台前,手指悬在启动键上方,迟迟没有按下去。
秦念站在他旁边。
“方老师,怕了?”
“怕。”方明华说,“前两次都失败了。这次如果再失败,我没脸见您。”
“失败了我也不会吃了你。”秦念说,“按吧。”
方明华深吸一口气,按下了启动键。
测试开始了。探针卡接触芯片,电压一点一点地加上去。示波器上的信号开始跳动。
暗计数:80赫兹。
方明华的手抖了一下。
探测效率:22%。
他的眼眶红了。
“秦总师,成了。”
秦念看着那些数字,沉默了三秒。
“方老师,您辛苦了。”
方明华摘下眼镜,用手背擦了擦眼睛。
“秦总师,您知道吗?这玩意儿做出来之后,我给一个国际同行发了封邮件,告诉他我们的结果。他回了一句话——‘你们中国人,是不是作弊了?’”
秦念皱起眉头。
“你怎么回的?”
方明华笑了。
“我说——‘我们中国人,不作弊。我们只是比你们更拼命。’”